潔凈室檢測中被忽視的靜電污染 危害可不小

由于檢測的儀器，方式，能力限制，目前在潔凈室檢測中，還沒有一項檢測潔凈室靜電的項目，只能根據潔凈室的產生靜電的可能來減少靜電的可能，暫時無法找到一種如同激光粒子計數器一樣的儀器，來檢測空氣中出現的靜電計數器。目前可使用的多為表面電阻測試儀，如希瑪AS982 表面電阻測試儀，或者采用靜電壓差計，可測量可見的物體的靜電電位，具體可咨詢大灣在線客服。

潔凈室中產生靜電的原因：

人穿潔凈工作服、鞋、步行或工作時，與不同物質設備器材摩擦要產生靜電，人、衣服、鞋都會帶電。

空調氣流經過初效過濾器、中效過濾器、高效過濾器，凈化出口氣流是帶靜電的。

大量的絕緣器材、裝備和工具，也是重要的靜電電荷源。

潔凈室濕度低也是產生靜電的一個原因：

靜電的危害：

靜電庫侖力在靜電庫侖力的作用下，吸附的粉塵、污物造成元器件增大泄漏或形成短路，使性能受損，成品率和可靠性大大下降。如粉塵粒徑 100μ m，鋁線寬度約 100μ m，氧化膜厚度在 50μ m 時，易使產品報廢。現在線徑更細，氧化膜很薄，粒徑很小的塵粒子就會損害元器件，這種情形多發生在腐蝕清洗、光刻、點焊和封裝等工藝過程中。

元器件的絕緣氧化膜被擊穿，引線被燒斷或線間熔斷。若人體帶上10KV(100PF)的靜電荷觸摸器件腳時發生 ESD，其向大地瞬間形成脈沖放電電流峰值可達 20A(10~100s)，不要說高密度細線徑，薄SiO2 膜的 Lsi、Vlsi，就是一般 IC、MOS都會遭受損壞。

如何減少潔凈室中的靜電：

進入潔凈室必須穿：防靜電工作服。大灣檢測工程師在到客戶現場潔凈室檢測的時候，都自備防靜電潔凈室服。

(1)盡量采用性質相似器材，減少在接觸摩擦分離過程中產生靜電電荷;

(2)盡量采用導靜電型或靜電耗散型材料的器材，減少接觸摩擦分離過程產生積累靜電荷;

(3)盡量采用減少接觸摩擦分離而產生靜電荷的生產流程。

還可以使用防靜電工作臺墊，防靜電工作地墊，防靜電手腕帶。