大灣檢測助力國產光刻機壓縮空氣檢測 助力順利投產

我們的芯片生產受限于人，就如我們咽喉被他人卡住，在自足研發的道路上，我們沒有停步，一直在努力，做為壓縮空氣檢測人，我們有著20年檢測檢驗，檢測檢驗豐富。

在電子半導體行業，我們的客戶有富士康電子組裝，手機噴涂，OLED手機屏幕生產廠家，臺積電晶圓，光刻機后道封裝等。

我們檢測項目有含油量檢測，含水量檢測，塵埃粒子檢測，除壓縮空氣之外，高純氧，高純氮檢測也可檢測。

壓縮空氣檢測

簡單而言，芯片制造涉及硅片制備、硅片制造、硅片測試/揀選、裝配與封測、最終測試五大生產階段，彼此獨立，而特種氣體，則或多或少參與到各個環節當中。

比如，為向反應系統提供所需能量，需要通過氣體混合，在硅片表面沉積一層固體膜，這種工藝稱為“化學氣相沉淀（CVD）"，當中常用的特種氣體就有高純氮、硅烷等；又如，高純四氟化碳、高純六氟乙烷等氟基氣體，是刻蝕工藝中所采用的主要介質。

按照用途，特種氣體可劃分為摻雜氣、外延氣、離子注入用氣、LED用氣、光刻氣、載運和稀釋氣體等大類。其中，光刻氣是光刻機產生深紫外激光的光源，不同的光刻氣產生的光源波長不同，直接影響光刻機的分辨率，是光刻機的核心之一。

特種氣體在純度、組成、有害雜質最高含量、產品包裝貯存等方面均有極其嚴格的要求，屬于高技術、高附加值產品。大灣檢測注重在純度，有害雜質檢測。如有更多壓縮空氣檢測技術問題，請咨詢大灣檢測客服。